主要用途

氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ITO,或者掺锡氧化铟)是一种氧化铟(IIIA族,In2O3)和氧化锡(IVA族,SnO2)的混合物,通常质量比为90% In2O3和10% SnO2。它在薄膜状时,为透明无色。在粉或块状态时,它呈黄色。ITO主要用于制作液晶显示器、平板显示器、电浆显示器、触摸式显示器、电子纸等应用、有机发光二极管、以及太阳能电池、和抗静电镀膜还有EMI屏蔽的透明电传导镀膜。氧化铟锡薄膜通常是用电子束蒸发、物理气相沉积、或者真空溅镀的方法沉积到表面。铟的其他用途包括:车辆及飞机轴承、低温合金和銲料、核子反应器控制棒。

氧化铟锡粉尘危害

在日本有两个因吸入氧化铟锡导致肺部疾病(1998及2002年,27岁及30岁男性)案例被报导,这两个案例皆发生在同一家金属处理工厂从事湿式表面研磨作业,此工厂生产制造薄膜半导体液晶显示器(TFT-LCD)所需之氧化铟锡溅镀靶(sputtering target),处理作业包括:混合氧化铟粉末和氧化锡粉末、粉碎、压铸、烧结、表面研磨、切割,其中粉碎、表面研磨、切割作业在湿式系统中进行(如图1-3)。

铟、氧化铟锡及铟化合物暴露危害预防  第1张

图1 密闭湿式表面研磨

铟、氧化铟锡及铟化合物暴露危害预防  第2张

图2 密闭湿式切割机台

铟、氧化铟锡及铟化合物暴露危害预防  第3张

图3 密闭湿式切割

这两个案例皆因干咳、呼吸困难始就医,经系列诊断(血液、胸部计算机断层摄影)发现肺部组织纤维化,这两个案例病患血中铟浓度为290 μg/l和51 μg/l(男性常人平均值为0.1 μg/l),肺部有许多细微粒子,经扫瞄式电子显微镜X-Ray光谱分析,这些粒子为铟和锡氧化物,因此判定为吸入氧化铟锡导致间质性肺炎(interstitial pneumonia)。

在中国被报导铟中毒案例为一名任职于江苏某生产手机液晶显示荧幕的企业工人(28岁男性),工作内容为把金属粉喷在液晶荧幕模板上。该名工人因开始出现严重咳嗽、气喘和持续发烧等症状就医,转入大型医院进行计算机断层检查,除发现其肺部布满雪花状的白色颗粒物,还发现其肺泡里有像牛奶般的乳白色液体。肺泡中的白色颗粒成分除氧化硅和氧化铝外,还有重金属元素「铟」,其血液中铟含量为常人的300倍,该员被诊断为铟中毒。

相关动物实验研究发现铟、氧化铟锡及铟化合物会造成肺部及生殖系统伤害(1-10)。铟及其化合物(以铟计)PC-TWA: 0.1 mg/m3。PC-STEL:0.3mg/m3。

暴露途径

在氧化铟锡溅镀靶制造厂中,虽然表面研磨、切割作业是在密闭湿式系统中进行,但喷溅在机器周围含有氧化铟锡的液滴和废水会蒸干,导致氧化铟锡粉尘悬浮于空气中,因而吸入人体导致肺部疾病。

铟同时因为其低熔点(156.6℃),被用于溅镀靶与背板黏着时的銲料,在高温下会有铟金属燻烟产生,若无适当防护,会经呼吸进入人体。

氧化铟锡溅镀靶回收厂和废弃物回收厂(CRT和TFT-LCD荧幕含铟化合物),在粉碎氧化铟锡溅镀靶或荧幕时,含铟化合物粉尘会经呼吸进入人体。

另外,TFT-LCD荧幕制造厂中使用氧化铟锡溅镀靶多在密闭的机器中进行,人员直接暴露的可能性并不高,但是在进行预防性维护(PM),维护人员进行氧化铟锡溅镀靶表面修整研磨作业(干式研磨)时,若无适当个人防护,可能暴露氧化铟锡粉尘(如图4)。

铟、氧化铟锡及铟化合物暴露危害预防  第4张

图4 氧化铟锡溅镀靶表面修整研磨

作业防护及注意事项

粉碎、研磨、切割及溅镀靶与背板接着区须有足够及适当排气设备。

粉碎、研磨、切割铟、氧化铟锡及铟化合物及及溅镀靶与背板接着作业时,建议作业工人佩戴适当防尘口罩,以免吸入铟、氧化铟锡及铟化合物微粒和燻烟。

使用适当眼部及手部防护,以免粉尘微粒喷溅或接触。

作业时应着工作服或防尘服,回家前应更换衣服,以免将粉尘带回家,工作服或防尘服于工厂内清洗。

请勿于工作现场放置饮水及食物,以免污染而误食,并避免在工作场所饮食或休息。

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